2025年9月24日讯：9月23日，内蒙古绿菱气体有限公司1万吨/年高纯电子特种气体建设工程规划许可申请变更。

本项目位于内蒙古乌兰察布察哈尔高新技术开发区巴音化工产业园，总投资100000万元。

本项目主产品为电子级三氟化氮（NF3），生产能力为10000吨/年；副产品为40％氢氟酸（HF），生产能力为10000吨/年。项目分二期建设，产能分配如下：一期三氟化氮4500t/a，二期5500t/a。 一期40％氢氟酸4500 t/a ，二期5500t/a。

项目主要建设内容包括： 1、工艺生产装置：其中包括反应工段生产厂房2间，其中一期建设2间，二期建设2间； 产品精制工段包括装置4套（局部为厂房结构），其中一期建设2套，2其建设2套； 2、罐区：包括3个罐区，均为一期建设； 3、原料库：包括原料库2间，均为一期建设； 4、成品库房：共三间，其中一期建设2间，二期新增1间； 5、中央控制室：为一期建设，二期仅根据装置需要增加控制设备数量； 6、综合办公楼：包括办公、食堂、浴室以及倒班宿舍等，均为一期建设； 7、动力站：一期完成装置主体建设，二期增加部分设备； 8、循环水站：一期建设部分，二期根据工艺需求完成扩充； 9、空压空分站：一期完成构筑物建设，二期厂房内增加部分设备； 10、污水处理站：一期完成综合污水处理装置建设，二期利用一期设备即可。

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