2025年10月16日讯：10月14日，四川永晶新材料有限公司四川永晶年产7.23万吨电子化学品及电子特气项目环境影响评价第一次公示。

据了解，该项目由四川永晶新材料有限公司投资建设，拟在四川省自贡市沿滩区高新技术产业园区自贡川南新材料化工园区内建设。主要建设氟氮气、高纯氨、半导体级氨水、半导体级BOE溶液、半导体级氢氟酸、电子级氟化氢气体生产装置以及配套公辅、环保设施。主要产品包括1.2万吨高纯氨，1万吨BOE溶液，3万吨半导体级氨水，2万吨半导体级氢氟酸，200吨半导体级氟化氢，120吨半导体级氟氮混合气。

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高纯氨是纯度要求达到99.999%（5N）及以上的特种气体。在半导体工业中，它主要作为氮源，通过化学气相沉积技术在晶圆表面生成坚固的氮化硅掩膜层，有效阻挡杂质扩散和离子注入，是器件隔离与保护的核心材料。随着第三代半导体（如氮化镓）的兴起，高纯氨的需求正从传统的硅基芯片向更广阔的领域拓展。

BOE溶液，即缓冲氧化物蚀刻液，是氢氟酸与氟化铵的缓冲混合物。广泛应用于前端的硅片清洗和图形化工艺中的窗口开凿。随着芯片制程迈向3nm、2nm及更先进节点，对刻蚀工艺的精准度要求近乎苛刻，BOE溶液的技术门槛和重要性将愈发凸显。

半导体级氢氟酸是经过超纯过滤和纯化、金属杂质含量降至万亿分之一级别的极致纯净酸。它在芯片制造中既用于清除硅片表面的自然氧化膜和微量污染物，也与BOE溶液协同进行精细的二氧化硅蚀刻。当前，全球半导体产业链正加速重构，其国产化替代与技术升级拥有巨大的发展潜力。

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