2026年03月17日讯：近日，滨州市生态环境局审批通过了大晟芯材料科技（山东）有限公司电子级氢氟酸技术改造项目环评文件并进行公示。

据悉，该项目投资2500万元，拟对厂内现有“6000吨/年电子级氢氟酸项目”实施技术改造，通过在装置前端增设预处理工序以提升原料品质，在现有纯化工序后端增加产品纯化工序以进一步优化产品质量，同时改造建设产品高纯无水氟化氢（电子级）充装线，全面提升项目市场竞争力。技改完成后，项目生产电子级氢氟酸 6000t/a、高纯无水氟化氢（电子级）1000t/a 及工业级氢氟酸 1901t/a，总产能保持不变，不新增产能。

延伸阅读：

电子级氢氟酸是氟化氢经超纯水配制后的高纯度溶液，是湿电子化学品中的关键基础材料，其金属杂质含量严格控制在ppb（十亿分之一）级别以下。凭借氟离子能与二氧化硅发生独特反应的特性，它成为半导体晶圆蚀刻和清洗工艺中不可或缺的“化学工具”，其纯度直接决定了芯片的良率与性能，被业内形象地称为“芯片血液”。

电子级氢氟酸贯穿芯片制造的核心环节：在蚀刻工艺中，它用于精准去除晶圆表面未被保护的二氧化硅层，从而形成精密的电路图案；在清洗工序中，则用于清除晶圆表面的金属离子及颗粒残留，为后续工艺提供洁净环境。随着芯片制程向3纳米及以下节点迈进，电子级氢氟酸将朝着8N的超高纯度方向升级。同时，在“碳中和”目标指引下，开发低能耗、可回收的绿色生产工艺，也成为行业高质量发展的必然趋势。

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