2026年05月22日讯：近日，永修硅碳新能源正硅酸乙酯及超高纯电子级气体生产建设项目（一期）环境影响评价报批前公示。

该项目属新建项目，项目总投资48000万元(一期)，建设地点位于江西省九江市永修县云山经济技术开发区星火工业园星云大道北沿166号；项目主要产品有：电子级正硅酸乙酯3000吨/年、电子级氨10000吨/年、高纯氢240万标方/年、超纯乙炔279吨/年等；副产品为：电子级氨水、工业氨水、溶解乙炔等。

延伸阅读：

电子级正硅酸乙酯是半导体制造中关键的有机硅源前驱体，主要用于集成电路化学气相沉积工艺制备二氧化硅介质层。其纯度要求达到6N以上，金属杂质含量需控制在十亿分之一级别，以保障薄膜的均匀性与绝缘性能。常温下为无色液体，通过特制不锈钢容器高纯氮气密封输送，在晶圆表面水解反应形成高质量氧化层。

电子级氨作为氮化硅薄膜沉积及氮化工艺的核心气源，同样需达6N以上纯度。关键杂质如水、氧气及二氧化碳需低于1 ppm，有效抑制颗粒生成，确保器件良率。

高纯氢广泛用于外延生长、还原气氛热处理及载气，纯度通常要求7N级别，主要控制杂质为水分、氧气及颗粒物，依托钯膜扩散或催化脱氧技术实现。

超纯乙炔用于化合物半导体如碳化硅、碳基薄膜的低温沉积，需深度去除磷化氢、砷化氢等电子级杂质，确保碳源纯净。这些高纯电子气体及化学品构成了芯片制程中薄膜沉积、刻蚀与清洗不可或缺的材料基础，对现代化工精馏、气体纯化及分析检测技术提出了严苛挑战。

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