2026年10月30日讯：近日，淄博市生态环境局对山东东岳绿冷科技有限公司年产 1 万吨超高纯电子氢氟酸项目环境影响报告书予以受理公示。

本项目选址东岳氟硅材料产业园区，为新建项目，总投资 1.4 亿元，预计 2027 年 12 月投产。项目将依托成熟的精馏提纯工艺搭建生产装置，同步配套公用工程与环保设施，设计产能为年产 1 万吨超高纯电子级氢氟酸。

延伸阅读：超高纯电子级氢氟酸是半导体制造领域的核心基础材料，其性能精度直接决定芯片生产的良率上限。不同于普通工业级氢氟酸，它的金属杂质含量可控制在10ppt以下，0.1μm粒径颗粒严格限制在每毫升20个以内，产品指标达到国际SEMI-G5级标准，部分适配28纳米以下先进制程的产品纯度可达6N等级，几乎完全剔除了痕量水、二氧化碳和含氧有机物等互溶杂质，哪怕极微量的杂质超标，都可能在纳米级电路中引发短路、器件失效等问题。这种极致的纯度特性，让它贯穿了半导体制造的多个核心环节。在晶圆清洗工序中，它能精准去除硅片表面的颗粒、金属残留与有机污染物，14纳米级先进制程中单次芯片生产就要用到它完成10至15次清洗；在蚀刻环节，它可以实现氧化硅、氮化硅薄膜的纳米级精准刻蚀，保障电路线条的精细度符合设计要求。除此之外，它还广泛应用于OLED柔性面板的薄膜清洗、光伏电池片的清洗制绒，以及碳化硅、氮化镓等第三代半导体功率器件的加工流程中，是新能源汽车、5G通信、光伏新能源等新兴产业不可或缺的基础电子化学品。随着国内半导体产业自主化进程的加速，叠加相关产业政策对高端电子特气材料的扶持，超高纯电子级氢氟酸的国产替代空间持续释放，未来几年行业将保持稳健的增长态势，成为氟化工向高端电子材料跨界升级的核心赛道。

返回首页

此项目本网已发布 （会员可见）会员可点击项目关键词搜索查询【查询入口】

(比如：内蒙古方正新材料有限公司年产100万吨乙二醇项目 输入：方正或 乙二醇 就可以查询)

还不是会员？请点击【免费注册】成为会员进行查询

石油化工项目网提供  【化工项目】  【石化项目 】 【 煤化工项目 】 【炼油项目】 【炼化一体化项目】  【精细化工项目】等等 为用户提供及时准确全国拟在建化工工程项目查询